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產品詳情
簡單介紹:
凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠;
是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備?。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作。
詳情介紹:
設備特點:
1、帶有100級空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵,防止
勻膠過程中的雜質污染。
2、 設置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。
3、可設置時間--轉速曲線,程序控制勻膠工藝
4、7英寸液晶顯示屏,操作簡單易學無需專業學習
主要技術參數:
勻膠時間 |
1-99秒 |
勻膠轉數 |
0-8000轉/分 |
操作區風速 |
0.3-0.5米/秒(有效操作區氣流狀態:垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠 |
凈化效果 |
100級(美國聯邦標準) |
外形尺寸 |
650x750x1620mm |
外體顏色 |
亞白色 |
控制范圍和精度 |
轉速控制范圍為:500-8000轉,精度為±3% |
時間控制范圍為 |
1-99秒,精度為±5% |
轉速調整 |
采用PID調節,精度高 |
轉速查看智能化 |
可自動識別哪個電機開或關,自動轉換到開啟的電機上。可予先選定,也可在運行中隨時查看任一電機的轉速 |