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本品是一款快速退火爐，采用鹵素燈管加熱，可用于快速熱退火、快速熱氧化、快速熱氮化、硅化、擴散、化合物半導體退火、離子注入后退火、電極合金化、晶化和致密化、合金熔點分析、薄膜沉積、等等。
設(shè)備主要由石英真空室、真空泵機組、水冷機組、控制系統(tǒng)組成。控制系統(tǒng)采用智能溫控表控制，觸控屏操作。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)平臺。爐膛采用左右滑動的方式，與樣品的距離靈活可調(diào)。
設(shè)備配有國產(chǎn)雙極旋片泵，具有體積小，噪音小，無油污污染等優(yōu)點。
RTP快速退火爐技術(shù)參數(shù)：
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型號 |
CY-RTP1000-Φ150-400-T |
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爐管規(guī)格 |
內(nèi)徑120mm，加熱溫區(qū)400mm，總長度550mm 材質(zhì)：高純石英 |
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升溫速率 |
0-100℃/s |
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降溫速率 |
200℃以上≤25min |
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加熱元件 |
鹵素燈 |
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真空接口 |
KF16 |
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進氣接口 |
寶塔頭 搭配外徑8mm導氣軟管使用 |
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法蘭規(guī)格 |
φ120不銹鋼真空法水冷法蘭 水冷接口：φ8mm快插接頭 |
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真空系統(tǒng) |
雙極旋片泵 抽速1.1L/s 極限真空度： 10-1Pa |
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溫控系統(tǒng) |
智能溫控表控溫 帶有超溫保護 測溫：K型熱電偶 |
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水冷機 |
水箱容量9L，*大揚程10m |
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進氣接口 |
φ8寶塔頭 |
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電源要求 |
220V 50Hz，18kW |
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外形尺寸 |
1200mm x 610mm x 570mm |
