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一、技術特點:
1.全觸摸屏操作顯示,簡單易用;
2.二組繼電器輸出,到達設置厚度自動關閉擋板/蒸發源;
3.實時顯示速率、厚度、鍍膜曲線和鍍膜時間;
4.提供RS232/RS485接口。
二.應用范圍:
適用于電阻蒸發、電子束蒸發、磁控濺射、離子鍍等真空鍍膜厚度測量,通過觸摸屏和數碼管顯示,使您能獲取完整的沉積數據。
采用了更先進的軟件和硬件設備,進一步提高了儀器抗干擾能力。
三、主要參數:
CY-FTM107-A監控儀
晶振頻率
6MHz(可選2.5M 3M 5M 9M晶體)
顯示方式
5”彩色觸屏+數碼管顯示速率和實厚
操作方式
觸摸屏
厚度顯示范圍
0-99μ9999?
厚度實際分辨率
0.1?(鋁)
厚度顯示分辨率
1?
速率范圍
0-999.9?
速率顯示分辨率
0.1?/s
鍍膜層數
99層
探頭輸入
4路(任選一路工作)
工具因子
0.01-99.99
材料存儲
257+自定義10種
通 訊
RS232/RS485
擋板/源控制
2組觸點,到達厚度關擋板/蒸發源
鍍膜顯示
速率曲線/數值
鍍膜巡回次數
0-99
機箱尺寸
480×250×89mm(2U
19”機箱)
四.特殊功能:
(1)具有人工停止鍍膜功能
(2)可顯示鍍膜層、材料和使用晶體振蕩頻率百分比
(3)顯示鍍膜結束后的監測實厚、材料和層次