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CY-O1200BG-Φ70-100×100×100-V-T是一款小型的1200℃布里奇曼單晶生長(zhǎng)爐,配有內(nèi)徑Φ72mm石英管和精密爐體移動(dòng)機(jī)構(gòu)(*大行程200mm) ,此設(shè)備設(shè)計(jì)用于在氣氛控制環(huán)境下生長(zhǎng)小尺寸的單晶或材料定向凝固。
布里奇曼單晶生長(zhǎng)爐技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱(chēng)
1200℃小型布里奇曼晶體生長(zhǎng)爐
產(chǎn)品型號(hào)
CY-O1200BG-Φ70-100×100×100-V-T
工作電壓
208~240VAC
*大功率
3W
加熱溫區(qū)
2個(gè)加熱溫區(qū):每個(gè)溫區(qū)100mm,總溫區(qū)長(zhǎng)度200mm
*高加熱溫度
1200℃
連續(xù)工作溫度
1100℃
溫控器
2個(gè)程序溫控器,分別獨(dú)立控制2個(gè)溫區(qū),控溫精度可達(dá)±0.1℃
*大溫度梯度
1℃/cm
·用戶(hù)需找到合適的溫度梯度
·可通過(guò)調(diào)節(jié)2個(gè)溫區(qū)的溫度,能創(chuàng)造不同的溫度梯度
·調(diào)節(jié)爐體打開(kāi)的直徑也可改變溫度梯度
·設(shè)備中包含石英管(外徑Φ80mm×內(nèi)徑Φ72mm×長(zhǎng)800mm)和不銹鋼密封法蘭
采用伺服電機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)爐體上下移動(dòng)
·私 服電機(jī)+高精度直線(xiàn)模組保證爐體在移動(dòng)過(guò)程中不卡頓
·爐體移動(dòng)有慢速提拉和快速移動(dòng)兩種模式
·*大移動(dòng)行程:200mm
·移動(dòng)速度范圍:0.03mm/hr--30mm/hr(可調(diào),精度+/-1um)
·可根據(jù)客戶(hù)要求來(lái)定制爐體移動(dòng)速度范圍
密封法蘭:
·一對(duì)不銹鋼密封法蘭,用于密封石英管
·頂部法蘭安裝有壓力傳感器和Φ6.35mm出氣口
·底部法蘭有KF25真空接口和Φ6.35mm的進(jìn)氣口
·底部法蘭采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降,用于裝入和取出坩堝
·設(shè)備中配有一直徑Φ60mm×70mmH的石墨坩堝
·坩堝臺(tái)安裝在底部法蘭上
·真空度:10-2torr(采用機(jī)械泵),10-5torr(采用分子泵系統(tǒng))
觸摸屏控制面板可控制爐體移動(dòng)速度,移動(dòng)行程和爐體溫度和顯示坩堝的溫度,也可控制爐管內(nèi)部氣壓
·配合加熱爐升溫曲線(xiàn)設(shè)置預(yù)提拉時(shí)間,例如設(shè)置5個(gè)小時(shí)后開(kāi)始提拉
·溫度曲線(xiàn)功能,時(shí)時(shí)顯示兩條控溫曲線(xiàn)和坩堝底部溫度曲線(xiàn),溫度曲線(xiàn)數(shù)據(jù)可以保存記錄和導(dǎo)出
·2個(gè)歐陸儀表(Eurothermo)分別控制2個(gè)溫區(qū),控溫精度+/-0.1℃
·包含3根K型熱電偶
2根熱電偶分別控制和檢測(cè)2個(gè)溫區(qū)的溫度
1根熱電偶用于檢測(cè)坩堝底部的溫度
·坩堝臺(tái)與底部法蘭相互連接
·一個(gè)數(shù)顯壓力傳感器和電磁閥安裝在密封法蘭上,用于控制爐管內(nèi)氣壓恒定,控制范圍:0.01MPa-0.02MPa